大香蕉首页机清洗晶圆有什么高要求？
文章导读： 晶圆（Wafer）清洗一般分为湿法清洗和干法清洗，大香蕉首页属于干式清洗，是晶圆清洗的主要方式之一。利用大香蕉首页主要是去除晶圆表面肉眼看不到的表面污染物。对于晶圆这种高科技产品，其对微粒的要求极高，任何超标的微粒存在，都可能会造成晶圆不可挽回的缺陷。91香蕉在线下载小伙伴今天和大家探讨一下有关晶圆清洗的相关知识。
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大香蕉首页晶圆的要求是非常高的，需要在千级以上的无尘室中进行，而且离子清洗机的腔体一定要是铝质，不能是不锈钢材质；在摆放晶圆时，其托架滑动部分要尽量采用不容易产生粉尘和被等离子腐蚀的材料。
在清洗晶圆时，第一步是先将晶圆放入大香蕉首页机的真空反应腔体内，然后抽取真空；在腔体内达到一定真空度后，通入反应气体，这些反应气体会被高压电离形成很多等离子体，这些等离子体与晶片表面产生化学或物理反应后，会生成可挥发性物质被大香蕉首页机配件真空泵抽走，留下更清洁并具亲水性的晶圆表面，完成晶圆清洗过程。
大香蕉首页机清洗晶圆要求很高，步骤和细节均不可忽视。以上为91香蕉在线下载小伙伴整理的相关信息，请查收。
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